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如保讓潔凈室更節能：
一、摘要：潔凈室里存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。
HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中。升級的投資收回率通常比直接購買新設備要高很多。大部分工廠設備翻新的投資回收期不超過兩年――也就是說，通常投資收回率至少是50%，對照投資新的固定資產，則只有10%到15%（即投資回收期需要七年時間）。這些情況降低了企業的競爭力和投資股東的興趣。在今天高度發達的工業中，工廠運行和產品設計一樣需要改革。 高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪費的能源比賣產品更能增加利潤，因為節約下來的錢在最終效益中馬上就能體現出來。雖然能源的成本占晶片產品成本占不到百分之二，但是電能卻是晶片制造商在運行中的開支卻是最大的，每座工廠每年總共要消耗上百萬美元的電能。在新建工廠時，節能措施可以節約資本和建造時間。雖然初步設計報價昂貴，但是經濟翻新的可能性仍然存在。設備翻新的投資回收期不超過兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。
一、 低斷面風速設計 斷面風速就是空氣處理部件中空氣經過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。 大部分工程師根據“經驗”把空氣處理器設計成500英寸/分鐘。這樣的設計雖然節省時間，但是卻增加了運作費用。在低斷面風速（LFV）設計中，使用更大的空氣處理器和更小的風機，從而降低空氣的流速，降低能耗和設壽命成本。 壓降決定了風機的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷面風速降低20%，那么壓降將下降36%；如果斷面風速降低50%，壓降將下降四分之三。根據“立方定則”，風機能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%，風機能耗將下降88%。 因此，較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風機能量，可以使用比較小的風機和馬達。小風機給空氣添加的熱量比較少，降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高，所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷面風速情況下，工作效果更好、壽命更長。 LFV設計減少了空氣和水的壓降，減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設計，幾乎沒有尖角，從而使壓降減少10%到15%。 LFV設計也可以把壓降降低四分之一。目標是使能量損耗降低至少25%，減小變速風機的大小。最優的斷面風速范圍是250-450英尺/分鐘，具體取決于使用情況和能量消耗。
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