1、進入無塵車間的維護或維修人員，應遵循該潔凈區的規范，包括穿著適當的工作服及維修完成后對該區和設備清潔應達到要求。
2、與正在維護、維修設備相鄰的無塵室區域，應當加強監控，以保證有效地控制污染。
3、在隔離區內進行維修、維護的工作人員，不應與無塵車間的生產或操作人員發生接觸。
4、如果技術人員需要躺下或爬到設備下面去維修，應該先確定工作條件是否適宜，應在進行化學品、酸或生物危險品有效中和或適當處理后，再開始維修工作。
5、應采取措施保護維修人員的潔凈服不接觸到設備上的潤滑油或工藝用化學品等污染物，還應避免潔凈服被設備、工作的銳邊撕裂、捅破。
6、進行維護或維修工作用的全部工具、工具箱、小車等，在進入無塵車間前都應徹底清潔，不允許帶入任何銹蝕的工具。如果進入生物潔凈室，則還可能要去滅菌或消毒。
7、維修技術人員應避免把工具、各種零配件、損壞的零部件或清潔用的工具材料等任何物品，放置在產品或工藝材料用的工作表面附近。
8、如有可能，凡是要進行維修的設備應先移出無塵 車間再維修，以減少污染產生的可能性。
9、如果必要，應將需要維護的固定設備與周圍的無塵室隔離開來，再進行主要的維護或維修。或者采取把所有正在制造的產品移往適當位置的措施。
10、維修工作過程中應注意清潔，隨時進行清潔工作，定期更換手套，避免因手套破損，維修人員的皮膚接觸設備潔凈表面的情況發生。
11、如果要求使用耐酸、耐熱或耐切割型的非無塵室室手套，那么這些手套應符合無塵室要求或另套一副無塵室用手套。
12、如需進行鉆、鋸作業時，應使用專用的罩蓋，把工具和進行鉆、鋸的區域遮蔽起來，同時使用無塵室真空除塵器，即使吸走揚塵。
13、在地面、墻面、設備側板或其他表面鉆孔后，留下的縫隙、孔洞，要采取密封措施，如用填料、粘合劑和特殊制造的板堵塞，以防止污染物經孔洞、縫隙擴散到無塵車間內。